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J-GLOBAL ID：200903007030809203

光ヘッド装置の製造方法

Inventor： 田辺 譲 ,  佐藤 弘昌
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996006595
Publication number (International publication number)：1997198698
Application date： Jan. 18, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】片側効率の高い非対称の回折格子を用いた光ヘッド装置を量産性よく製造する。【解決手段】ガラス基板1上に真空蒸着法によってSiO2 の透明薄膜を形成し、フォトリソグラフィ法とドライエッチング法によってSiO2 膜をエッチングし断面が矩形の回折格子2を作製した。次いで真空蒸着法によりSiO2 を回折格子2の斜め上方向から蒸着堆積させ、断面が非対称の回折格子12を作製した。

Claim (excerpt)：

光源からの光を回折素子を通して光記録媒体上に照射することにより情報の書き込み及び/又は情報の読み取りを行う光ヘッド装置の製造方法において、前記回折素子を、透明基板の表面に断面が矩形の回折格子を形成し、その後前記回折格子の斜め上方から方向性ビームを照射することによって透明材料を堆積させ、断面が非対称の回折格子を形成することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。

IPC (4)：

G11B 7/135 ,  G02B 5/18 ,  G02F 1/13 505 ,  G11B 7/12

FI (4)：

G11B 7/135 A ,  G02B 5/18 ,  G02F 1/13 505 ,  G11B 7/12