Pat
J-GLOBAL ID：200903007065374030
ガラス基板のライン検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
下田 容一郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994017556
Publication number (International publication number)：1995225198
Application date： Feb. 14, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：
【要約】【目的】 磁気記録媒体或いは液晶表示板用のガラス基板の品質を向上し、歩留りを向上させる。【構成】 基板1に磁性膜等を成膜する前に、透過型自動外観検査装置6によって基板1の外観検査を行う。即ち、レーザー光源12からのレーザー光をコリメータ13、ポリゴンミラー14、フーリエレンズ15を介して基板1に照射し、透過した光をフーリエレンズ16を介してセンサ17,18で受光し、センサ17,18の検出信号をコンパレータ等でしきい値処理した後、コンピュータに取り込んで2次元画像化、画像処理をして欠陥の有無を判別する。
Claim (excerpt)：
ガラス基板の生産ラインで欠陥を検査するライン検査方法において、前記ガラス基板に付加価値を付ける工程前に透過型自動外観検査装置によって前記ガラス基板の外観検査を行うことを特徴とするガラス基板のライン検査方法。
IPC (4)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 7/00
Cited by examiner (6)
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