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J-GLOBAL ID：200903007068410371

導電性反射防止膜

Inventor： 岡庭 正行
Applicant, Patent owner： 富士写真光機株式会社
Agent (1)： 臼村 文男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992215422
Publication number (International publication number)：1994034801
Application date： Jul. 20, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 基板11上にITO等の透明導電層23を、その上に低屈折率層Lと高屈折率層Hとの交互積層膜25を、スパッタリング法等のプラズマ雰囲気下の成膜法により全層酸化物で形成し、最上層(表面)を酸化物とした導電性反射防止膜環境による分光変化特性の変化がなく、季節により湿度が変化しても、反射光の色が常に一定であり、耐摩耗性、耐汚染性に優れている。【構成】 基板上に全層が酸化物からなる高屈折率層と低屈折率層とが合計4層以上積層され、高屈折率層の少なくとも1層が透明導電層であり、表面層が低屈折率層である、CRT等の前面パネルに利用される導電性反射防止膜。

Claim (excerpt)：

基板上に高屈折率層と低屈折率層とが合計4層以上積層された導電性反射防止膜において、全層が酸化物から形成され、高屈折率層の少なくとも1層が透明導電層であり、かつ、表面層が低屈折率層であることを特徴とする導電性反射防止膜。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-168899
  
• 特開昭63-228101