感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメント

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三好秀和 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001033569
Publication number (International publication number)：2002236362
Application date： Feb. 09, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】高解像性、高密着性、高感度、めっき浴汚染性等に優れ、特にレジスト材料等に適した感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】カルボキシ基を有するバインダーポリマー、分子内に光重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに光開始剤としてのN,N-ジ(ヒドロキシ)アルキルアミノフェニル環を2個以上有するアミン化合物及びトリフェニルイミダゾール二量体を含有する組成物。

Claim (excerpt)：

バインダーポリマー(A)、分子内に光重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物(B)並びに光開始剤(C)として下記一般式(I)で表される置換基を分子内に2個以上有し、アセトニトリル中で365nmにおけるモル吸光係数が500以下のアミン系化合物(C1)及び水素引き抜き型光開始剤(C2)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(但し、R1 及びR2 は炭素数1〜6個のアルキル基又はヒドロキシアルキル基を示す。)

IPC (9)：

G03F 7/031 , C08F 2/44 , C08F 2/50 , C08F291/00 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , H05K 3/00

FI (9)：

G03F 7/031 , C08F 2/44 C , C08F 2/50 , C08F291/00 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , H05K 3/00 F

F-Term (41)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC19 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025CA01 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J011AC04 , 4J011PA63 , 4J011PA69 , 4J011QA07 , 4J011QA13 , 4J011QA15 , 4J011QA24 , 4J011QA25 , 4J011QA33 , 4J011QA34 , 4J011QA38 , 4J011QB16 , 4J011QB24 , 4J011SA25 , 4J011SA62 , 4J011SA75 , 4J011SA78 , 4J011SA82 , 4J011UA01 , 4J011UA02 , 4J011VA01 , 4J011WA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-279697 Applicant：日本合成化学工業株式会社
特開昭52-130701
ジアミン化合物を含有する感光性樹脂組成物及びこれを塗布した感光性フィルム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-363578 Applicant：コーロンインダストリーズインク

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