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J-GLOBAL ID：200903007097217203
モータと軸受装置と送風機と圧力制御システム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
遠山 勉 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996036621
Publication number (International publication number)：1997225240
Application date： Feb. 23, 1996
Publication date： Sep. 02, 1997
Summary：
【要約】【課題】 ファンフィルタユニットのファンモータ内で発生したガス状不純物等をクリーンルーム内の空気に拡散させないようにする。【解決手段】 送風機12のファンモータ20のモータケーシング21に吸引枝管28を接続し、吸引枝管28に接続した真空ポンプでモータケーシング21内を所定の負圧度に保つ。これによってモータケーシング21とシャフト24や軸受25との隙間を通って、モータケーシング21の外から内へと空気の流れを生じせしめる。ファンモータ20の運転により軸受25,26のベアリンググリースがガス状不純物となっても、これは吸引枝管28を通って系外に排出されるので、クリーンルームの空気中に拡散することはない。
Claim (excerpt)：
モータケーシングを吸引管を介して負圧源に接続し、モータケーシングの内部を吸引して負圧状態に保持することを特徴とするモータ。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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