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J-GLOBAL ID:200903007114739014

光学系及びそれを用いた穴の測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 東島 隆治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998257185
Publication number (International publication number):2000088534
Application date: Sep. 10, 1998
Publication date: Mar. 31, 2000
Summary:
【要約】【課題】 光透過性を有する測定対象に開けられた貫通穴を高いコントラストで画像入力できる光学系およびそれを用いた穴の測定装置を提供する。【解決手段】 貫通穴2の開けられた測定対象1を挟んで、カメラ3と光源5とを設置し、測定対象1とカメラ3との間に第1の偏光フィルタ6を、測定対象1と光源5との間に第2の偏光フィルタ7をそれぞれ設置し、第1の偏光フィルタ6と第2の偏光フィルタ7との偏光方向を直交させることで、測定対象1の貫通穴2を通過する光を遮断して、貫通穴2部分を陰影部分としてカメラ3に入力することで、貫通穴2と貫通穴2以外の部分とのコントラストを高めた画像得る。従って、貫通穴の形状や寸法を正確に測定することができる。
Claim (excerpt):
光学的貫通穴を有する測定対象の、一方の側に光源を設置し、他方の側に画像入力手段を設置して、穴の大きさおよび形状を検査計測する光学系において、前記光源と前記測定対象との間に配置され、通過光の振動方向を一定の方向にする第1の偏光フィルタ、及び前記画像入力手段と前記測定対象との間に配置され、前記第1の偏光フィルタを通過した光の振動方向に対して90度異なる振動方向の光を通過させる第2の偏光フィルタ、を備えたことを特徴とする光学系。
IPC (4):
G01B 11/08 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/89 ,  G06T 7/00
FI (4):
G01B 11/08 H ,  G01B 11/24 C ,  G01N 21/89 620 A ,  G06F 15/62 405 A
F-Term (31):
2F065AA27 ,  2F065AA52 ,  2F065BB22 ,  2F065CC02 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH09 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ07 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07 ,  2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA04 ,  2G051BA11 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB02 ,  2G051CC15 ,  2G051CD06 ,  2G051EA11 ,  5B057BA15 ,  5B057BA29 ,  5B057DA06 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08 ,  5B057DC09

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