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J-GLOBAL ID：200903007119503108

硬質カーボン膜のパターニング方法

Inventor： 島内 岳明 ,  木崎 茂 ,  田口 昇
Applicant, Patent owner： シチズン時計株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993072772
Publication number (International publication number)：1994264270
Application date： Mar. 09, 1993
Publication date： Sep. 20, 1994
Summary：

【要約】【構成】 基板11に硬質カーボン膜15を形成し、さらにマスク膜17を形成し、露光現像処理を行いレジスト19をパターニングする工程と、レジストをエッチングマスクにしてマスク膜をエッチングする工程と、マスク膜をエッチングマスクとし酸素、または酸素を主体とするガスをエッチングガスとするドライエッチングにより硬質カーボン膜をエッチングする工程と、マスク膜を除去する工程とを有する。【効果】 硬質カーボン膜の微細パターンを得ることができる。これにより硬質カーボン膜を噴射加工やケミカルエッチングなどのマスク材として利用することや、基板上に部分的に形成することが可能となる。

Claim (excerpt)：

基板に硬質カーボン膜を形成し、さらにマスク膜を形成し、露光現像処理を行いレジストをパターニングする工程と、レジストをエッチングマスクにしてマスク膜をエッチングする工程と、マスク膜をエッチングマスクとして酸素、または酸素を主体とするガスをエッチングガスとするドライエッチングにより硬質カーボン膜をエッチングする工程と、マスク膜を除去する工程とを有することを特徴とする硬質カーボン膜のパターニング方法。

IPC (3)：

C23F 4/00 ,  C23C 16/26 ,  H01L 21/302