マイクロ・アクチュエータ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小沢信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994096408
Publication number (International publication number)：1995308080
Application date： May. 10, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】低消費電力、高速動作、ミクロン・オーダの小型化、他のIC等との混在、大量生産等が容易なマイクロ・アクチュエータを実現する。【構成】固定部と、固定部に近接して配置され、固定部と接触した際に付着力により固定部と付着する可動部とを設ける。また、可動部を付着した固定部から分離させ、若しくは、前記固定部に接触させる駆動手段を設ける。

Claim (excerpt)：

固定部と、前記固定部に近接して配置され、前記固定部と接触した際に付着力により前記固定部と付着する可動部とを備えたことを特徴とするマイクロ・アクチュエータ。

IPC (4)：

H02N 1/00 , H01H 13/20 , H01L 27/04 , H01L 21/822

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

静電リレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-153536 Applicant：松下電工株式会社
特開平4-058428
特開平3-112032

Show all

Return to Previous Page