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J-GLOBAL ID：200903007149021833

電極の製造方法および電極

Inventor： 森 匡見
Applicant, Patent owner： ティーディーケイ株式会社
Agent (1)： 石井 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997230410
Publication number (International publication number)：1999061398
Application date： Aug. 12, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】 有機層界面での物性を改善して有機層へのダメージも少なく、リーク電流の発生等を抑制し、電荷注入効率が良好で、発光特性を向上させ、ダークスポットの発生を抑制し、性能劣化の少ない陽電極を有する有機EL素子を実現する。【解決手段】 スパッタ法を用い、かつ少なくとも基板の成膜面の温度を10°C以下とする電極の製造方法により、有機EL素子等の電極を得る。

Claim (excerpt)：

スパッタ法を用い、かつ少なくとも基板の成膜面の温度を10°C以下とする電極の製造方法。

IPC (4)：

C23C 14/34 ,  H01B 5/14 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26

FI (4)：

C23C 14/34 K ,  H01B 5/14 A ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26