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J-GLOBAL ID：200903007160516267

応力センサ及びその製造法

Inventor： 犬飼 厚臣
Applicant, Patent owner： ケイテックデバイシーズ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003004794
Publication number (International publication number)：2004219169
Application date： Jan. 10, 2003
Publication date： Aug. 05, 2004
Summary：

【課題】基板4面に複数の歪ゲージ5と、応力受け部材としてのポスト8が配され、そのポスト8への応力付与が前記基板4を撓ませて前記歪ゲージ5を刺激し、当該刺激による前記歪ゲージ5の特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサにおいて、基板4外形形状や基板4材質選択の自由度を高めつつ、出力バランスの良好な応力センサを提供する【解決手段】撓み易い基板4領域に配される歪ゲージ5の感度が、撓み難い基板4領域に配される歪ゲージ5の感度よりも低く、且つポスト8へ付与される同じ強さの応力に対する出力が、把握すべき方向について実質的に同一とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板面に複数の歪ゲージと、応力受け部材としてのポストが配され、そのポストへの応力付与が前記基板を撓ませて前記歪ゲージを刺激し、当該刺激による前記歪ゲージの特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサにおいて、 撓み易い基板領域に配される歪ゲージの感度が、撓み難い基板領域に配される歪ゲージの感度よりも低く、 且つポストへ付与される同じ強さの応力に対する出力が、把握すべき方向について実質的に同一であることを特徴とする応力センサ。

IPC (2)：

G01L5/16 ,  G06F3/033

FI (2)：

G01L5/16 ,  G06F3/033 330A

F-Term (7)：

2F051AA21 ,  2F051AB09 ,  2F051BA07 ,  2F051DA02 ,  5B087BC02 ,  5B087BC12 ,  5B087BC19