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J-GLOBAL ID:200903007168034237
顕微鏡用自動焦点検出装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993106915
Publication number (International publication number):1994317739
Application date: May. 07, 1993
Publication date: Nov. 15, 1994
Summary:
【要約】【目的】検鏡法に応じて被検体画像の特徴が変化しても、その特徴に応じた画像評価を可能にし、デフォーカス量の精度を向上させ、合焦速度を速くすることにある。【構成】対物レンズ3を通してステージ1上に載置された被検体からの光学像を受光し、その受光量に応じた電気信号を得るCCDセンサ6と、検鏡法に応じて可変される複数の合焦度演算機能を有し、且つその何ずれかの合焦度演算機能によりCCDセンサ6から取込まれる被検体情報をもとに被検体の合焦度を演算する演算回路12と、この演算回路12に検鏡法に応じた信号を入力して合焦度演算機能を切換える検鏡切換スイッチ14と、演算回路12により演算された合焦度を出力するCPU8と、このCPU8より出力される合焦度信号により対物レンズ3またはステージ1を駆動して被検体を合焦位置へ移動制御する駆動回路13とを備える。
Claim (excerpt):
対物レンズを通してステージ上に載置された被検体からの光学像を受光し、その受光量に応じた電気信号を得る受光手段と、検鏡法に応じて可変される複数の合焦度演算機能を有し、且つその何ずれかの合焦度演算機能により前記受光手段から取込まれる被検体情報をもとに被検体の合焦度を演算する演算手段と、この演算手段に検鏡法に応じた信号を入力して前記合焦度演算機能を切換える切換手段と、前記演算手段により演算された合焦度を出力する出力手段と、この合焦度出力手段より出力される合焦度信号により前記対物レンズまたはステージを駆動して前記被検体を合焦位置へ移動制御する制御手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡用自動焦点検出装置。
IPC (2):
FI (2):
G02B 7/11 N
, G02B 7/11 J
Patent cited by the Patent: