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J-GLOBAL ID：200903007191949897

板状体の加工方法

Inventor： 長澤 郁夫 ,  太田 和重
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998263645
Publication number (International publication number)：2000084807
Application date： Sep. 17, 1998
Publication date： Mar. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】ガラス板16を高平坦に加工する。【解決手段】ガラス板16の表面を研削または研磨し、その表面に残留した加工残留応力をエッチング処理で除去した後、ガラス板16の裏面を研削または研磨し、その裏面に残留した加工残留応力をエッチング処理で除去する。

Claim (excerpt)：

板状体の裏面を定盤に変形させずに保持させて該板状体の表面を研削または研磨手段によって平坦加工し、前記板状体を前記定盤から取り外した後、該板状体の表面に残留した加工残留応力を残留応力除去手段によって除去することにより、板状体の表面を平坦加工し、前記板状体の表面を前記定盤に変形させずに保持させて該板状体の裏面を研削または研磨手段によって平坦加工し、前記板状体を前記定盤から取り外した後、該板状体の裏面に残留した加工残留応力を残留応力除去手段によって除去することにより、板状体の裏面を平坦加工することを特徴とする板状体の加工方法。

F-Term (5)：

3C043BB05 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  3C043DD06 ,  3C043EE04