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J-GLOBAL ID：200903007197002557
磁気記録媒体及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992053294
Publication number (International publication number)：1993258304
Application date： Mar. 12, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：
【要約】【構成】スパッタリング法で磁気記録媒体を作製する際、スパッタ室内を1/107Pa 以下に排気してからスパッタガスを導入して、膜形成を行なう磁気記録媒体の製造方法。磁気記録媒体は、Ti基合金を下地膜,Co-Cr系合金を磁性膜とした垂直磁気記録媒体やCrを下地膜,Co-Cr系合金を磁性膜とした面内磁気記録媒体とする。【効果】磁性層としてCoとCrを主成分とする垂直磁気記録媒体および面内磁気記録媒体の記録密度特性や再生出力,媒体S/N等の記録再生特性を大幅に向上することができる。
Claim (excerpt)：
スパッタリングにより磁気記録用薄膜媒体を作製する際に、背圧を1/107Pa以下の真空度にすることを特徴とするスパッタリング法による磁気記録媒体の製造方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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