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J-GLOBAL ID：200903007200640713

配線板の検査方法及びその方法に用いる検査装置

Inventor：
山中 久芳

About 山中 久芳

, 
本橋 邦彦

About 本橋 邦彦

, 
直之 進

About 直之 進


Applicant, Patent owner：
日立化成工業株式会社

About 日立化成工業株式会社


Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999115616
Publication number (International publication number)：2000304704
Application date： Apr. 23, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】精度に優れたパターン部の形状欠陥を検出でき、かつ変化の少ない色相欠陥を検出できる配線板の検査方法とその方法に用いる検査装置を提供すること。【解決手段】絶縁層の表面に導体回路が形成された配線板の検査を行う方法であって、検査対象をモノクロラインセンサで撮像した画像と、所定の輝度とを比較し、不良の判定を行うと共に、検査対象の真上からカラーエリアセンサで撮像し、撮像した画素ごとのR値、G値、B値を、色相値に換算し、所定の色相値と比較して不良の判定を行う配線板の検査方法と、検査対象を撮像するモノクロラインセンサと、検査対象を撮像するカラーエリアセンサと、判定装置からなり、判定装置には、モノクロラインセンサで撮像した画像と、所定の輝度とを比較し、不良の判定を行うシーケンスを備え、カラーエリアセンサで撮像した画像の画素ごとのR値、G値、B値を、色相値に換算し、所定の色相値と比較して不良の判定を行うシーケンスを備えた検査装置。
Claim (excerpt)：
絶縁層の表面に導体回路が形成された配線板の検査を行う方法であって、検査対象をモノクロラインセンサで撮像した画像と、所定の輝度を比較して不良の判定を行うと共に、検査対象の真上からカラーエリアセンサで撮像し、撮像した画素ごとのR値、G値、B値を、色相値に換算し、所定の色相値と比較して不良の判定を行うことを特徴とする配線板の検査方法。
IPC (3)：
G01N 21/88 ,  G01J 3/51 ,  H01L 23/12
FI (3)：
G01N 21/88 J ,  G01J 3/51 ,  H01L 23/12 Z
F-Term (25)：
2G020AA04 ,  2G020BA17 ,  2G020CB43 ,  2G020CC63 ,  2G020CD12 ,  2G020CD24 ,  2G020CD34 ,  2G020DA02 ,  2G020DA03 ,  2G020DA32 ,  2G020DA52 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051AB20 ,  2G051BA00 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA03 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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