マイクロリレー、その製造方法およびその制御方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996313444
Publication number (International publication number)：1998154456
Application date： Nov. 25, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】駆動電圧が低く、かつ、耐圧が高い静電型マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】ベース10の傾斜面12から可動接触片30までの対向距離が、可動接触片30の基部から自由端部にかけて増大する。

Claim (excerpt)：

ベースの上面に片持支持した可動接触片の自由端部下面に可動接点を設ける一方、前記ベースの上面に、前記可動接点に接離可能に対向する一対の固定接点と、前記可動接触片に接離可能に対向する駆動電極とを設けたマイクロリレーにおいて、前記ベースの上面から前記可動接触片までの対向距離が、可動接触片の基部から自由端部にかけて増大することを特徴とするマイクロリレー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

静電駆動型リレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-010607 Applicant：松下電工株式会社, ジャッキーレヴィナー, ディディエールペリノ
静電リレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-057842 Applicant：松下電工株式会社
ハイブリッド駆動装置を備えたマイクロメカニカルなリレー
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平6-518543 Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシャフト

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