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J-GLOBAL ID：200903007252769218

ステージ装置及びこれを有する露光装置とデバイス製造方法

Inventor： 崎野 茂夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994115154
Publication number (International publication number)：1995318699
Application date： May. 27, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】 コンパクトで軽量な高精度ステージ装置を提供すること。【構成】 基板6を搭載するXステージ3をX方向に沿って移動させるXリニアモータ(固定子)42と、リニアモータ42の両側を保持する2つのYリニアモータ(固定子)40、41を有し、各リニアモータ固定子40、41、42を案内面としてステージの移動案内を行う。案内は静圧軸受によって非接触で行う。

Claim (excerpt)：

リニアモータによって移動体を所定方向に移動させるステージ装置において、リニアモータの固定子が有する案内面に沿って、ステージの移動案内を行うようにしたことを特徴とするステージ装置。

IPC (4)：

G21K 5/08 ,  G05D 3/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (2)：

H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G