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J-GLOBAL ID：200903007266172850

外観検査装置

Inventor： 浜地 尚史
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993141040
Publication number (International publication number)：1994347233
Application date： Jun. 14, 1993
Publication date： Dec. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ICのリードなどを検査する外観検査装置において、光学部品を削減し、装置の簡略化と価格低減を実現する外観検査装置を提供する。【構成】 カメラによって外観を検査する外観検査装置であって、被検査部であるIC6のリード6aを分割して撮影する第1カメラ7および第2カメラ8と、前記カメラ7,8によって撮影された画像により、リード6aのリードピッチ計測を行う画像処理装置9と、前記カメラ7,8によって撮影された画像を出力するモニタ10とから構成されるものである。

Claim (excerpt)：

カメラによって外観を検査する装置であって、検査物の被検査部を水平斜め方向から分割して撮影するように配置された少なくとも2台のカメラと、前記カメラによって取り込まれた情報を処理する画像処理装置と、前記情報を出力するモニタと、前記カメラによって映し出された画像の歪みを補正する補正手段とからなることを特徴とする外観検査装置。

IPC (5)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/66 360 ,  H01L 21/66