Pat

J-GLOBAL ID：200903007269716541

マイクロストリップ線路およびその製造方法

Inventor： 羽賀 剛
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996050053
Publication number (International publication number)：1997243753
Application date： Mar. 07, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 誘電体としての絶縁性能を損なうことなく、電子雪崩によって生じた電荷の帯電を防ぎ、ガス増倍度の経時変化のない検出器を提供できるマイクロストリップ線路を得ること。【解決手段】 誘電体基板1の上面に信号線路3,4を、さらに裏面に基準電位面となる導体層5を有するマイクロストリップ線路に係るものである。誘電体基板7の上に凸部7aを並行に形成し、凸部7aの上部に、上記信号線路3,4を設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

誘電体基板の上面に信号線路を、さらに裏面に基準電位面となる導体層を有するマイクロストリップ線路において、前記誘電体基板上に凸部を並行に形成し、この凸部の上部に前記信号線路を設けたことを特徴とするマイクロストリップ線路。

IPC (4)：

G01T 1/18 ,  H01J 47/02 ,  H01P 3/08 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G01T 1/18 D ,  H01J 47/02 ,  H01P 3/08 ,  H01L 21/30 531 E