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J-GLOBAL ID：200903007322084811

光導波路型表面プラズモン共鳴センサおよび光導波路型表面プラズモン共鳴装置

Inventor： 内山 兼一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (8)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002355226
Publication number (International publication number)：2004184381
Application date： Dec. 06, 2002
Publication date： Jul. 02, 2004
Summary：

【課題】携帯可能な大きさの光導波路型表面プラズモン共鳴装置と、安価で量産可能な光導波路型プラズモンセンサを提供する。【解決手段】被測定材料の誘電率の変化を被測定材料に接した金属薄膜14の表面における表面プラズモンにより測定するセンサであって、金属薄膜14の裏面に第1主面10aを接し、第2主面10bから入射した光が、一定の入射角θで金属薄膜14の裏面に入射し、金属薄膜14の裏面で反射した光が、第2主面10bから出射する透明な基板10と、第1主面10aに接して金属薄膜14の両側に配置された、光を金属薄膜14の裏面に入射する前に回折する入射側グレーティング12a、および光を金属薄膜14の裏面で反射後に回折する出射側グレーティング12bと、第1主面10aに接して、入射側グレーティング12aおよび出射側グレーティング12bを覆うように設けられた保護膜11とを含む。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

被測定材料の誘電率の変化を前記被測定材料に接した金属薄膜の表面における表面プラズモンにより測定するセンサであって、 前記金属薄膜の裏面に第1主面を接し、第2主面から入射した光が、一定の入射角で前記金属薄膜の裏面に入射し、前記金属薄膜の裏面で反射した前記光が、前記第2主面から出射する透明な基板と、 前記第1主面に接して前記金属薄膜の両端に配置された、前記光を前記金属薄膜の裏面に入射する前に回折する入射側グレーティング、および前記光を前記金属薄膜の裏面で反射後に回折する出射側グレーティングと、 前記第1主面に接して、前記入射側グレーティングおよび前記出射側グレーティングを覆うように設けられた保護膜 とを含むことを特徴とする光導波路型表面プラズモン共鳴センサ。

IPC (3)：

G01N21/27 ,  G01N33/543 ,  G02B6/122

FI (3)：

G01N21/27 C ,  G01N33/543 595 ,  G02B6/12 A

F-Term (15)：

2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059CC17 ,  2G059DD03 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ17 ,  2H047KA02 ,  2H047MA01 ,  2H047QA07