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J-GLOBAL ID：200903007338424256

メガソニック洗浄装置及び方法

Inventor： マルコム・シューラー ,  ロバート・ロンゲンバーガー ,  ロドニー・リドリー ,  トーマス・グレブス ,  ジェイソン・トロスト ,  レイモンド・ウェッブ ,  マイケル・キャラヴァッジオ ,  テリー・フェンステルメイチャー
Applicant, Patent owner： インターシル コーポレーション
Agent (1)： 柏原 三枝子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000192596
Publication number (International publication number)：2001057354
Application date： Jun. 27, 2000
Publication date： Feb. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】 半導体ウェハをメガソニック洗浄する方法及び装置を提供する。【解決手段】 本発明は、洗浄容器内を横切る平行なメガソニックの列を発生させる一対の平行メガソニック変換器を提供する。半導体ウェハは列を前後に横切って動く。変換器は、その背面がシリコンエラストマでポットに入れられており、腐食を防いでいる。他の実施形態では、配列した変換器からのメガソニックを、シリンダ状水晶ロッドによって分散させる。イオンを除去した水を入れた密閉槽にフィルタを介して圧力下でオゾンを供給することにより水をオゾン化する。

Claim (excerpt)：

洗浄液と複数の半導体ウェハを保持する容器を具えるメガソニック洗浄装置であって、前記容器が、方形のフロアと、4つの壁と、開口とを具え、当該容器のフロアにメガソニック変換器アレイが設けられており、当該アレイが、少なくとも一つの変換器を保持するフレームを具え、各変換器が、圧電素子からのメガソニックエネルギを洗浄液に伝達する伝達板に取り付けた圧電素子と、前記圧電素子に接続し、前記素子から電気エネルギ源にまで延びる一又はそれ以上の電気ケーブルとを具え、前記水晶板と前記圧電素子及び前記ケーブルへの接続がすべて前記容器内の液体の侵入を防ぐシリコンを含む材料内に封入されていることを特徴とするメガソニック洗浄装置。

IPC (5)：

H01L 21/304 642 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 647 ,  H01L 21/304 648 ,  B08B 3/12

FI (6)：

H01L 21/304 642 E ,  H01L 21/304 642 D ,  H01L 21/304 647 Z ,  H01L 21/304 648 K ,  B08B 3/12 B ,  B08B 3/12 C