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J-GLOBAL ID：200903007338707100

ポジ型感光性組成物

Inventor： 児玉 邦彦 ,  青合 利明
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997319976
Publication number (International publication number)：1999153870
Application date： Nov. 20, 1997
Publication date： Jun. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】 露光を受けない部分と露光された部分の溶解速度の差が大きく、微細パターンの解像力に優れ、未露光部の膜減りが少なく、しかも感度の低下を伴わないポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】 1分子内にヨードニウム構造を2つ以上有し、活性光線又は放射線の照射により酸を発生するヨードニウム塩、及び酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂を含有するボジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

(a)1分子内にヨードニウム構造を2つ以上有し、活性光線又は放射線の照射により酸を発生するヨードニウム塩、及び(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂を含有することを特徴とするボジ型感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/30 502 R