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J-GLOBAL ID：200903007359050070
多軸位置決めユニットおよびこれにおける測長方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三品 岩男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994043868
Publication number (International publication number)：1995253304
Application date： Mar. 15, 1994
Publication date： Oct. 03, 1995
Summary：
【要約】【目的】小型の移動鏡を用いて大型のワークの全範囲にわたり高精度に測定することができる多軸位置決めユニットを提供する。【構成】各々独立にX軸方向の測長を行なう複数本の測長光5a〜5dをほぼ平行に、かつステージ9がY軸方向に移動しても常に測長光の少なくとも1本が移動鏡8aに照射されているように配置する。同時に、Y軸方向のステージ移動を測定する少なくとも1本の測長光6aを設け、この測長値と前記複数の測長光の位置とを照合することにより、移動鏡8aに照射している測長光がどの測長光かを認識する。この認識された測長光による測長値によりX軸方向のステージ位置が求められる。ステージ9がY軸方向に移動した場合、移動前に測長していた測長光による測長値を、移動鏡8aの移動につれてこの測長光と同時に移動鏡8aを照射するようになった測長光の測長値の初期値として受け渡す。
Claim (excerpt)：
少なくとも第1軸方向および該第1軸方向に略直角な第2軸方向に移動する移動ステージと、略平行な複数本の測長光を有し、前記第1軸方向における前記移動ステージの位置の測定を行なう第1のレーザ干渉測長装置と、前記移動ステージに固定され、前記第1のレーザ干渉測長装置の複数本の測長光のうち、前記移動ステージの前記第2軸方向の移動に伴って、順次異なる少なくとも1本の測長光を受ける第1の移動鏡と、少なくとも1本の測長光を有し、前記第2軸方向における前記移動ステージの位置の測定を行なう第2のレーザ干渉測長装置と、前記移動ステージに固定され、前記第2のレーザ干渉測長装置の少なくとも1本の測長光を常時受ける第2の移動鏡と、該第2のレーザ干渉測長装置の測長値に基づいて、現在前記第1の移動鏡が前記第1のレーザ干渉測長装置のいずれの測長光を受けているかを判定し、当該測長光により前記第1のレーザ干渉測長装置の測長結果を得る演算手段と、を備えたことを特徴とする多軸位置決めユニット。
IPC (4)：
G01B 9/02
, B23Q 17/24
, G01B 11/00
, B23Q 1/60
