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J-GLOBAL ID：200903007375108356

センサ及びその製造方法

Inventor： 石田 陽平 ,  宮田 浩克
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (2)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005323694
Publication number (International publication number)：2007017422
Application date： Nov. 08, 2005
Publication date： Jan. 25, 2007
Summary：

【課題】 特定のガス分子の高選択検出を行うことが可能であるセンサを提供することを目的とする。【解決手段】 そこで、本発明は、複数のメソ孔を有し、且つ酸化物を含む半導体膜と、前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、前記メソ孔内の表面の少なくとも一部が、有機物又は無機酸化物で被覆されているセンサを提供するものである。 また、本発明は、複数のメソ孔を有し、且つ酸化スズを含む半導体膜と、前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、前記メソ孔内に無機物の粒子が担持されているセンサを提供するものである。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

複数のメソ孔を有し、且つ酸化物を含む半導体膜と、 前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、 前記メソ孔内の表面の少なくとも一部が、有機物で被覆されていることを特徴とするセンサ。

IPC (1)：

G01N 27/12

FI (2)：

G01N27/12 C ,  G01N27/12 B

F-Term (7)：

2G046AA01 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046FB00 ,  2G046FB02 ,  2G046FE38 ,  2G046FE39

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開平4-344450