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J-GLOBAL ID：200903007392915338

光走査トンネル顕微鏡

Inventor： 瀧口 義浩
Applicant, Patent owner： 新技術事業団 ,  瀧口 義浩
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994195689
Publication number (International publication number)：1996062228
Application date： Aug. 19, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 チップの先端部を発光可能で、かつ外部から状態を制御できる量子構造にすることにより、上記のチップ先端部の工夫が不要になるとともに、チップ先端部で物質を伝搬する光の波長とは異なる光に変換されるため、検出されるべきエバネッセント波を、バックグラウンドのエバネッセント波から弁別検出が可能な、量子効果チップを有する光走査トンネル顕微鏡を提供する。【構成】 基板11をカンチレバーとしたチップ部12を有するプローブと、このカンチレバーの微動機構13と、前記量子効果チップの量子構造変調機構14と、前記プローブによって計測される試料21と、この試料21をセットする試料移動機構16と、前記試料21に励起光を照射する光源機構15と、前記プローブが前記試料21に接近して電子または光のトンネルにより励起されて発光する光を検出する光検出手段17,18,19とを具備する。

Claim (excerpt)：

(a)基板に支えられる量子効果チップを有するプローブと、(b)該プローブの微動機構と、(c)前記量子効果チップの量子構造変調機構と、(d)該プローブによって計測される試料と、(e)該試料をセットする試料移動機構と、(f)前記試料に励起光を照射する光源機構と、(g)前記プローブが前記試料に接近して電子または光のトンネルにより励起されて発光する光を検出する光検出手段とを具備する光走査トンネル顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 102 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 走査型分析顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-143969   Applicant：株式会社日立製作所