Pat
J-GLOBAL ID：200903007464687246
圧電振動角速度計
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993258102
Publication number (International publication number)：1995113643
Application date： Oct. 15, 1993
Publication date： May. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】 小型で安価に量産できる圧電振動角速度計を提供することを目的とする。【構成】 シリコン加工プロセスにより形成された片持ち梁または両持ち梁形状の振動子およびそれを支持する基体と、振動子上に形成された圧電及び/または電歪材料からなる薄膜とから圧電振動角速度計を構成する。
Claim (excerpt)：
シリコン加工プロセスにより形成された振動子およびそれを支持する基体と、前記振動子上に直接または他の層を介して形成された圧電および/または電歪材料からなる薄膜とから構成される圧電振動角速度計において、前記振動子が前記基体に支持された両持ち梁形状を有することを特徴とする圧電振動角速度計。
IPC (2)：
Return to Previous Page
