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J-GLOBAL ID：200903007499946848

インライン化ウエハ搬送装置

Inventor： 飯綱 崇明 ,  小此木 弘孝 ,  関田 三郎
Applicant, Patent owner： 株式会社岡本工作機械製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000346081
Publication number (International publication number)：2002151450
Application date： Nov. 14, 2000
Publication date： May. 24, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ウエハへの外部からの埃の付着が少ないインライン化用のウエハ搬送装置の提供。【解決手段】 デバイスパタ-ンが施された半導体ウエハwをエッチング装置20からマウンタ装置200へ搬送するインライン化ウエハ搬送装置300であって、前記ウエハ搬送機構300は、回転軸303に軸承された仮置台301、該回転軸の支持具304、回転軸の回転駆動機構162、前記支持具を前記筒状ド-ム室で囲繞された軌道路で往復移動させる駆動機構306,307,308を具備しており、このインライン化ウエハ搬送装置300は透明な樹脂製筒状ド-ム室316内に収納されている。

Claim (excerpt)：

デバイスパタ-ンが施された半導体ウエハのデバイス面とは反対側の裏面をエッチングするエッチング装置を四周壁および天井により囲まれた部室内に据え付けているエッチャ-室(A)、前記エッチヤ-室より搬出された半導体ウエハのエッチング面を環状の搬送フレ-ムに貼付された粘着テ-プ上に載せ、粘着テ-プに貼合するマウンタ装置を四周壁および天井により囲まれた部室であって一側の隔壁で前記エッチャ-室と隣節する部室内に据え付けているマウンタ室(B)、および前記エッチャ-室とマウンタ室の各々の前壁に設けられた筒状ド-ムで囲繞された軌道路を直線状に往復移動可能であって、エッチャ-室内のエッチング装置でエッチングされ、洗浄された半導体ウエハをマウンタ室内に搬送するウエハ搬送機構(C)を備えるインライン化ウエハ搬送装置であって、前記ウエハ搬送機構(C)は、回転軸に軸承された仮置台、該回転軸の支持具、回転軸の回転駆動機構、前記支持具を前記筒状ド-ム室で囲繞された軌道路で往復移動させる駆動機構を具備しており、前記筒状ド-ム室の側壁とこの側壁に隣接するエッチャ-室の前壁には、前記回転軸に軸承された仮置台が両室を行き来できる出入口が設けられ、前記筒状ド-ム室の側壁とこの側壁に隣接するマウンタ室の前壁には、前記回転軸に軸承された仮置台が両室を行き来できる出入口が設けられている、ことを特徴とする、インライン化ウエハ搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68

FI (4)：

H01L 21/304 622 Q ,  H01L 21/304 648 A ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/302 B

F-Term (18)：

5F004AA16 ,  5F004BA00 ,  5F004BC06 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA43 ,  5F031GA51 ,  5F031GA54 ,  5F031LA08 ,  5F031LA13 ,  5F031MA22 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031NA02 ,  5F031NA05 ,  5F031NA08