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J-GLOBAL ID：200903007512271170
テレセントリック走査光学系とテレセントリックコン デンサーレンズとを組合せた検査用光学系。
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993354844
Publication number (International publication number)：1995198622
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、液晶ディスプレイ用ガラス板、半導体ウェーハ、レチクルないしマスク用ガラスブランクス、等の、キズ、泡、ゴミ、異物等を、高速、高S/N比で検出するために使用される光学系を提供するものである。【構成】 レーザを光源とし、テレセントリック走査光学系を配置し、当該光学系の焦点位置に検査対象物が置かれ、つぎにテレセントリックコンデンサーレンズを、その焦点面を第一のテレセントリック走査光学系の焦点面に向け、かつ一致させて配置し、当該コンデンサーレンズの後側射出瞳において、0次回折光がフィルタリングにより取りこぼされ、散乱光のみ取り込む、テレセントリック走査光学系とテレセントリックコンデンサーレンズとを組み合わせた検査用光学系。
Claim (excerpt)：
レーザを光源とし、テレセントリック走査光学系を配置し、当該光学系の焦点位置に、検査対象物が置かれ、検査対象物を透過した光、ないしは正反射した光を、走査光学系の開口数より大なる開口数を有するテレセントリックコンデンサーレンズを、その焦点面を第一のテレセントリック走査光学系の焦点面に向け、かつ一致させて配置し、当該テレセントリックコンデンサーレンズの後側射出瞳に於て、0次回折光は、マスキングにより遮断されるか、ないしは、リング状のガラスファイバー束により取りこぼされ、散乱光のみ取り込む、テレセントリック走査光学系とテレセントリックコンデンサーレンズとを組合せた検査用光学系。
IPC (4)：
G01N 21/88
, G02B 6/00
, G02B 26/10
, H01L 21/66
