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J-GLOBAL ID：200903007512470424

X線発生装置

Inventor： 神高 典明 ,  近藤 洋行 ,  村上 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995131262
Publication number (International publication number)：1996330094
Application date： May. 30, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 錫、鉛、亜鉛等の低融点金属材料を標的部材に用いた場合と同様なスペクトルが得られ、しかも飛散粒子(特に、径が比較的大きい飛散粒子)の発生を低減できるX線発生装置を提供すること。【構成】 減圧された真空容器103内の標的部材104に励起エネルギービーム101を照射してプラズマ107を形成させ、該プラズマ107からX線108を取り出すX線発生装置において、前記標的部材104として、錫を主成分とする、錫よりも高い融点を有する他金属との合金を用いたことを特徴とするX線発生装置。

Claim (excerpt)：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材として、錫を主成分とする、錫よりも高い融点を有する他金属との合金を用いたことを特徴とするX線発生装置。