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J-GLOBAL ID：200903007513027630
ダイヤモンド状カーボン膜形成方法及びその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宇高 克己
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994192503
Publication number (International publication number)：1996060364
Application date： Aug. 16, 1994
Publication date： Mar. 05, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ダイヤモンド構造に富むダイヤモンド状カーボン膜を得ることが出来る技術を提供することである。【構成】 プラズマ反応管に対向した位置にある支持体上にプラズマCVD法によりダイヤモンド状カーボン膜を形成する方法であって、前記プラズマ反応管に反応ガスを導入する工程と、前記プラズマ反応管内にバルクなダイヤモンドを配置する工程とを具備するダイヤモンド状カーボン膜形成方法。
Claim (excerpt)：
プラズマ反応管に対向した位置にある支持体上にプラズマCVD法によりダイヤモンド状カーボン膜を形成する方法であって、前記プラズマ反応管に反応ガスを導入する工程と、前記プラズマ反応管内にバルクなダイヤモンドを配置する工程とを具備することを特徴とするダイヤモンド状カーボン膜形成方法。
IPC (3)：
C23C 16/26
, C23C 16/50
, G11B 5/84
