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J-GLOBAL ID：200903007532121892

超微粒子分散材料の製造方法

Inventor： 常友 啓司 ,  大塚 俊介 ,  小山 正 ,  田中 修平
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993163054
Publication number (International publication number)：1995016451
Application date： Jul. 01, 1993
Publication date： Jan. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 非線形効果等に優れ、かつ数μm以上の厚膜を形成しても膜はがれのない超微粒子分散材料の製造方法を提供する。【構成】 不活性ガス中での加熱蒸発により超微粒子を形成する工程と、有機化合物等と酸素による化学的気相堆積法によりマトリックスを形成する工程とを交互に行い、基板上に超微粒子分散材料を形成する方法。

Claim (excerpt)：

超微粒子の原料となる材料を不活性ガス中で加熱蒸発し、不活性ガスとの衝突により該蒸気を急冷することにより超微粒子を形成し、該超微粒子を基板上に付着させる工程と、該基板上にマトリックスを形成させる工程を交互に行う超微粒子分散材料の製造方法において、該マトリックスを形成させる工程は、有機化合物またはシリコン水素化物の気体が化学反応に関与する化学的気相堆積法による工程であることを特徴とする超微粒子分散材料の製造方法。

IPC (3)：

B01J 19/00 ,  C23C 14/24 ,  C23C 16/30