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J-GLOBAL ID：200903007533088791

反射型液晶表示装置及びその製造方法並びに反射型液晶表示装置の製造用マスク

Inventor：
熊谷 宗人

About 熊谷 宗人

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井上 和式

About 井上 和式

, 
中口 佳祐

About 中口 佳祐


Applicant, Patent owner：
株式会社アドバンスト・ディスプレイ

About 株式会社アドバンスト・ディスプレイ


Agent (1)： 大岩 増雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999047543
Publication number (International publication number)：2000250025
Application date： Feb. 25, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】 低電力駆動が可能で表示品位に優れた高開口率の反射型液晶表示装置を簡易なプロセスで安定的に得る。【解決手段】 感光性を有する絶縁性樹脂をゲート電極配線2、ソース電極配線7及びTFT等に起因する段差を解消するように平坦に塗布し、露光量を変えて露光、現像することにより、画素領域内に非分離パターンである適度な凹凸を、TFTのドレイン電極8上に分離パターンであるコンタクトホール12を有する層間絶縁膜11を形成する。絶縁性樹脂の露光は、非分離パターンと分離パターンを異なるマスクに配置した分割露光により行い、非分離パターンを分離パターンの露光量に対して20〜80%内の所定の露光量で露光する。例えば、ここではh線のステッパー露光機を用い、コンタクトホール12部を400mj/cm2 で、画素領域内の凹凸を160mj/cm2 で露光した。
Claim (excerpt)：
絶縁性基板上に複数本の走査線と、この走査線と交差する複数本の信号線と、上記走査線及び上記信号線によって区画された個々の画素領域にスイッチング素子を形成する工程、上記基板上に、感光性を有する絶縁性樹脂を上記走査線、上記信号線及び上記スイッチング素子等に起因する段差を解消するように平坦に塗布し、露光量を変えて露光、現像することにより、画素領域内に非分離パターンである適度な凹凸を、上記スイッチング素子のドレイン電極上に分離パターンであるコンタクトホールを有する層間絶縁膜を形成する工程、上記層間絶縁膜上にAl等の高反射膜を成膜後、パターニングし、個々の画素領域に整合した位置に上記層間絶縁膜による凹凸を有し、上記コンタクトホールを介して上記スイッチング素子と電気的に接続された反射画素電極を形成する工程を含むことを特徴とする反射型液晶表示装置の製造方法。
IPC (2)：
G02F 1/1335 520 ,  G02F 1/136 500
FI (2)：
G02F 1/1335 520 ,  G02F 1/136 500
F-Term (31)：
2H091FA02Y ,  2H091FA14Y ,  2H091FA34X ,  2H091FB08 ,  2H091FC26 ,  2H091GA07 ,  2H091GA13 ,  2H091GA16 ,  2H091LA12 ,  2H091LA16 ,  2H091LA17 ,  2H092HA28 ,  2H092JA26 ,  2H092JA46 ,  2H092JB07 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092JB58 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092KB13 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA16 ,  2H092MA17 ,  2H092NA07 ,  2H092NA19 ,  2H092NA27 ,  2H092PA08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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