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J-GLOBAL ID：200903007540745242

光学測定装置

Inventor： 廣野 泰亮 ,  植田 護 ,  大林 康二
Applicant, Patent owner： 興和株式会社
Agent (1)： 遠山 勉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997073918
Publication number (International publication number)：1998267610
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 試料の光軸方向への移動が測定結果に影響を与えない光学測定装置を提供する。【解決手段】 短コヒーレント長光を照射した結果、試料1から出力される光が、ハーフミラー20を介して光合分波器22に供給され、2つの光に分割されるように、一方の光(参照光)に対して、微小に変動する全反射ミラー24により周波数変調が施され、周波数変調が施された光と、全反射ミラー26で反射された光(測定光)とを合波した光(合波光)が検出器50に供給されるよう、光学測定装置を構成する。試料1内の高い反射率を有する面で反射された光が参照光として機能するので、合波光には、当該面から、光学系に付与されている光路差に応じた距離にある点に関する情報が含まれる。

Claim (excerpt)：

入射された光を合波する光合波手段と、短いコヒーレント長を有する光を発生する光発生手段と、この光発生手段が発生した光を、測定対象試料に導入する光導入手段と、この光導入手段による光の導入の結果、前記測定対象試料から出力される光である情報光を、第1情報光と第2情報光とに分割する光分割手段と、この光分割手段によって分割された第1情報光に変調を施すとともに、変調を施した第1情報光を前記光合波手段に導入する光変調導入手段と、前記光分割手段によって分割された第2情報光を、前記光合波手段に導入する第2情報光導入手段と、前記光合波手段によって合波された光の強度に応じたレベルの電気信号を出力する光電変換手段と、この光電変換手段が出力する電気信号の時間変化から、前記測定対象試料に関する光学特性データを算出する算出手段とを備える光学測定装置。

IPC (3)：

G01B 9/02 ,  G01N 21/17 ,  A61B 10/00

FI (3)：

G01B 9/02 ,  G01N 21/17 Z ,  A61B 10/00 E