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J-GLOBAL ID:200903007547837681

光学性能測定方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 奈良 武
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991185260
Publication number (International publication number):1993010850
Application date: Jun. 28, 1991
Publication date: Jan. 19, 1993
Summary:
【要約】[目的] 被検光学計のMTFを高精度に測定する。[構成] 被検光学系の透過波面収差を測定する干渉計部2と、被検光学系のフレア率を測定するフレア測定部3と、前記透過波面収差から被検光学系のMTFを算出し、このMTFと前記フレア率とからフレア率を考慮したMTFを算出する演算部4と、この演算部で算出されたMTFを表示する表示部5とを備えて測定装置1を構成する。演算部4が式M=2×M0/(2+E×(1+M0))により被検光学系のフレア率を考慮したMTF値(M)を算出するため、高精度に測定できる。
Claim (excerpt):
被検光学系の透過波面収差から被検光学系のMTF値M0を測定すると共に、前記被検光学系のフレア率Eを測定し、式M=2×M0/(2+E×(1+M0))によりフレア率を考慮したMTF値Mを算出することを特徴とする光学性能測定方法。

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