Pat
J-GLOBAL ID：200903007582745099
CVD装置の排気ガスの異物捕獲方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992034123
Publication number (International publication number)：1993202474
Application date： Jan. 24, 1992
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 CVD装置の排気ガスに含まれている異物が、床下配管に堆積することを防止する手段を提供する。【構成】 CVD装置の反応炉の排気管15と、建物の床下に設けらた共通排気配管3の接続点に異物捕獲トラップ10を設ける。異物捕獲トラップは、筐体内に互いに絶縁され、適当な間隔のギャップで配列された複数枚の+電極板と-電極板で構成され、両電極板の間に高圧の直流電圧を加圧し、ギャップを通過する排気ガス中の異物を該各電極板に捕獲する。両電極板は着脱可能として随時清掃する。【効果】 異物捕獲トラップの電極板に排気ガス中の異物が捕獲されて床下配管に堆積されないので、その清掃作業の必要性がなくなるとともに、異物の堆積による反応ガスの異常なフローと、その薄膜の形成に及ぼす悪影響が排除される。
Claim (excerpt)：
CVD装置における反応ガスの反応により発生した異物を含む排気ガスの排出において、該CVD装置の反応炉の排気管と、建物の床下に設けらた共通排気配管との接続点に、筐体と、該筐体内に複数枚の+極および-極の電極板が互いに絶縁され、適当な間隔のギャップで配列され、着脱可能な捕獲電極部とを有する異物捕獲トラップを設け、該+電極板と-電極板の間に高圧の直流電圧を加圧し、前記ギャップを通過する排気ガス中の異物を該各電極板に捕獲することを特徴とする、CVD装置の排気ガスの異物捕獲方法。
IPC (7)：
C23C 16/00
, B01D 53/34 120
, B03C 3/09
, B03C 3/47
, C23C 16/44
, H01L 21/205
, H01L 21/31
