Pat

J-GLOBAL ID：200903007597531192

回折格子作製方法

Inventor： 廣江 昭彦 ,  前田 英男
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993258503
Publication number (International publication number)：1995113905
Application date： Oct. 15, 1993
Publication date： May. 02, 1995
Summary：

【要約】【目的】格子深さの精度を容易且つ確実に管理できる回折格子作製方法を実現する。【構成】基板1上にエッチング耐性を有する保護膜2を形成する保護膜形成工程と、保護膜2に所望の周期パターンを形成するパターン形成工程と、周期パターンをマスクとして基板1のエッチングを行うエッチング工程とを、少なくとも有する回折格子作成方法において、基板1として、エッチング速度が互いに異なる2以上の層1A,1Bを有し、これらの層のエッチング速度が、保護膜2に近い層ほど大きくなっているものを用いる。

Claim (excerpt)：

基板上にエッチング耐性を有する保護膜を形成する保護膜形成工程と、上記保護膜に所望の周期パターンを形成するパターン形成工程と、上記周期パターンをマスクとして上記基板のエッチングを行うエッチング工程とを、少なくとも有する回折格子作製方法において、基板として、エッチング速度が互いに異なる2以上の層を有し、これらの層のエッチング速度が、上記保護膜に近い層ほど大きくなっているものを用いることを特徴とする回折格子作製方法。