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J-GLOBAL ID：200903007598649243

高周波負イオン源

Inventor： 浅 野 史 朗 ,  奥 山 利 久
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999213708
Publication number (International publication number)：2001042099
Application date： Jul. 28, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 大電力放電が可能で、しかも、負イオンの生成効率の高い高周波負イオン源を提供すること。【解決手段】 本発明の高周波負イオン源40は、放電容器1と、放電容器1を真空に排気する手段と、放電容器1に放電のための原料ガスを供給する手段11とを備える。放電容器1の内部には、複数の誘導アンテナ10が設けられ、各誘導アンテナ10には、放電容器1内に放電プラズマを生成するための高周波電圧を各誘導アンテナ10に供給する高周波電源32が接続される。放電容器1の壁面には、負イオン加速用の加速電極4が形成され、加速電極には、放電プラズマから負イオンを引き出すためビーム引き出し孔5が設けられている。

Claim (excerpt)：

放電容器と、放電容器を真空に排気する手段と、放電容器に放電のための原料ガスを供給する手段と、放電容器内部に設けられた複数の誘導アンテナと、各誘導アンテナに接続され、放電容器内に放電プラズマを生成するための高周波電圧を各誘導アンテナに供給する高周波電源と、放電容器の壁面に形成された負イオン加速用の加速電極と、放電プラズマから負イオンを引き出すために加速電極に設けられたビーム引き出し孔と、を備えたことを特徴とする高周波負イオン源。

IPC (2)：

G21K 5/04 ,  H05H 1/24

FI (3)：

G21K 5/04 D ,  G21K 5/04 F ,  H05H 1/24