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J-GLOBAL ID：200903007601672731

ポジ型感光性組成物

Inventor： 米山 宣明 ,  田中 公章
Applicant, Patent owner： 日本ゼオン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994100716
Publication number (International publication number)：1995287391
Application date： Apr. 14, 1994
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 長期保存により異物が析出しない微細なパターン形成可能なポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性ノボラック樹脂とキノンジアジド系感光性化合物(I)及び該(I)とは異なるキノンジアジド系感光性化合物(II)とを溶剤に溶解させたポジ型フォトレジスト組成物であって、該キノンジアジド系感光性化合物(II)が、?@一般式(1)(R1〜R7:それぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子等、であり、R8:水素原子、炭素数1〜4のアルキル基等、である。)で表されるフェノール化合物と、?A前記?@とは異なるフェノール誘導体と、?Bアルデヒド誘導体との縮合体混合物のフェノール性水酸基の少なくとも一部がキノンジアジドスルホン酸エステル化されたものであることを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジド型化合物を含有する感光性組成物が加温処理されたものであることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027