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J-GLOBAL ID：200903007617626195

るつぼ中の溶融材料の溶融レベル制御方法および装置

Inventor： ヴェルナー・バウアー ,  ベルント・ミッテルバッハ ,  クリスティアン・ホフステター ,  ヴァルター・ベルガー
Applicant, Patent owner： ワッカー・ケミトロニク・ゲゼルシャフト・フュア・エレクトロニク・グルントシュトッフェ・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993178606
Publication number (International publication number)：1994116083
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： Apr. 26, 1994
Summary：

【要約】【目的】 溶融レベルがそれにより決定されかつ記載された問題を生起することなく、連続してかつ高い精度において、簡単な手段により制御され得る、チヨクラルスキー法により溶融物2から単結晶3を引き上げながらるつぼ中の溶融レベルを制御するための方法および装置を提供することにある。【構成】 本発明は、それによりチヨクラルスキー法により単結晶3を引き上げるとき溶融レベルの正確なかつ簡単な制御が達成され得る方法および該方法を実施するための装置に関する。本方法は機械的な基準マークが溶融面上に反射を生じるような方法において溶融物2の上方に機械的な基準マークを配置することからなる。溶融面2の画像が次いで記録され、そして記録された画像の助けにより溶融面からの機械的な基準マークの距離が決定される。この距離に比例する実際の信号が次いで発生されかつ設定点と比較され、そして溶融レベルが観察される差異の関数として変化される。

Claim (excerpt)：

チヨクラルスキー法により単結晶を引き上げながらるつぼ中の溶融材料の溶融レベルを制御するるつぼ中の溶融材料の溶融レベル制御方法において、a)溶融面に反射を生じる方法において少なくとも1つの機械的な基準マークが溶融物の上方に配置され;b)前記溶融面上に、少なくとも部分的に反射を含む評価区域の画像が記録され;c)記録された画像により前記溶融面からの前記機械的な基準マークの距離が決定されかつこの距離に比例する実際の信号が発生され;d)実際の信号が予め定義された設定値信号と比較されかつ差異が観察される場合に、制御信号が溶融レベルを変化するために発生されることを特徴とする溶融材料の溶融レベル制御方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭64-069591