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J-GLOBAL ID：200903007622395924
データ解析システム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991152954
Publication number (International publication number)：1993035745
Application date： Jun. 25, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：
【要約】【構成】外観検査データ1と分析データ2と工程装置対応データ3と装置メンテナンスデータ4を持ち、外観検査データ1と分析データ2と装置メンテナンスデータ3にはそれぞれの作業を行った日時と工程を必ず持たせる。また、外観検査データ1と分析データ2、外観検査データ1と装置メンテナンスデータ3を照合、解析する手段を持つ。【効果】外観検査データと分析データと装置メンテナンスデータにそれぞれの作業を行った日時と工程を持たせたため、外観検査データと分析データ、外観検査データと装置メンテナンスデータを解析すること、外観不良の発生原因を解析することが容易になった。
Claim (excerpt)：
薄膜製品の品質管理を行うシステムにおいて、ワークの外観検査結果に外観検査を行った工程と日時を併記して記録し、外観不良の成分の分析結果に分析を行った工程と日時を併記して記録し、装置のメンテナンス記録にメンテナンスを行った装置名とメンテナンスを行った日時を併記して記録し、各工程を構成する装置の一覧表を記録することを特徴とするデータ解析システム。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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