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J-GLOBAL ID：200903007635557095

微細部品の製造方法

Inventor： 池田 智夫
Applicant, Patent owner： シチズン時計株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997306955
Publication number (International publication number)：1999138827
Application date： Nov. 10, 1997
Publication date： May. 25, 1999
Summary：

【要約】【課題】 微細部品の厚さ方向に発生するテーパー形状を回避し、厚さが厚い微細部品において形状精度に優れ、信頼性の高い微細部品の製造方法を提供する。【解決手段】 不透明膜が微細部品の平面形状に形成された透明基板上に透明性の第1の感光不溶性材料をバック露光でパターニングする工程と、不透明膜上に第1のメッキ層を形成する工程と、第2の感光不溶性材料をバック露光でパターニングする工程と、第1のメッキ層上に第2のメッキ層を形成する工程とを有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

不透明膜を有する基板上に成膜された感光性樹脂材料をフォトリソグラフィー法によってパターニングし、前記基板上にメッキ層をメッキ法を用いて形成し、前記メッキ層から前記基板及び感光性樹脂材料を除去して微細部品を製造する微細部品の製造方法において、微細部品の平面形状にパターニングされた不透明膜が形成されている透明基板上に透明性を有する第1の感光不溶性樹脂材料を成膜し該第1の感光不溶性樹脂材料を前記透明基板側から前記不透明膜を介して露光し現像することによってパターン化する工程と、前記不透明膜上にメッキ法を用いて前記微細部品の一部となる第1のメッキ層を形成する工程と、前記第1の感光不溶性樹脂材料及び前記第1のメッキ層のそれぞれの上面に第2の感光不溶性樹脂材料を成膜し該第2の感光不溶性樹脂材料を前記透明基板側から前記不透明膜及び前記第1のメッキ層を介して露光し、現像することによってパターン化する工程と、前記第1のメッキ層の上面にメッキ法を用いて前記微細部品の一部となる第2のメッキ層を形成する工程とを有することを特徴とする微細部品の製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/16 ,  C23C 18/31 ,  C25D 1/00 381

FI (3)：

B41J 3/04 103 H ,  C23C 18/31 F ,  C25D 1/00 381