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J-GLOBAL ID:200903007635899727
光起電力素子の検査方法及び検査装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
河野 登夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999072764
Publication number (International publication number):2000269526
Application date: Mar. 17, 1999
Publication date: Sep. 29, 2000
Summary:
【要約】【課題】 非接触での検査が可能であって、膜損傷を発生させることがなく、しかも、検査時間が短い光起電力素子の検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】 隣合う光起電力素子20の表面電極13から所定距離(1000μm以下)隔てて対向電極1を対向配置し、対向電極1と表面電極13との間で空気を誘電体とするコンデンサを形成し、対向電極1に誘起される電位を電位検出計2にて検出する。隣合う光起電力素子20,20間でのこのような誘起電位の差(ΔV)を開放電圧として測定する。
Claim (excerpt):
表面に電極を有する光起電力素子を検査する方法において、前記電極に空間を介して対向する対向電極を設け、前記電極と該対向電極との間でコンデンサを形成し、前記対向電極に誘起される電位を検出することを特徴とする光起電力素子の検査方法。
F-Term (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開昭59-020870
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特開平4-315447
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特開平2-216844
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