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J-GLOBAL ID：200903007645760433
ステージ装置および露光装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997023116
Publication number (International publication number)：1998209034
Application date： Jan. 23, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 ステージ装置の単純化、薄型化、軽量化を実現し、かつウエハ、レチクル等の搭載物着脱の精度を上げることのできるステージ装置を提供する。【解決手段】 ステージ移動面におけるステージ1の位置を計測するため、ステージ上に配置された位置計測ミラー7と、装置本体上に配置され位置計測ミラーを照射する特定のレーザビーム径を出射するレーザヘッド301を含むレーザ方式の位置計測手段を具備し、搭載物の着脱時に、ステージが特定XY面に対して垂直なZ軸方向に所定量移動するウェハステージ装置100において、この軸方向への移動により前記レーザービームが前記位置計測ミラー7から外れないように、移動に応じてビーム径を調整する機構とを有するステージ装置。
Claim (excerpt)：
装置本体、前記装置本体に対して特定の面方向に移動可能な被駆動体、前記被駆動体上に搭載され、前記特定の面方向に対して垂直あるいは傾き方向に移動可能なステージ、前記ステージ上に配置され、板状体を搭載する基体搭載面、およびステージ移動面における前記ステージの位置を計測するため、前記ステージ上に配置された位置計測ミラーと、前記装置本体上に配置され前記位置計測ミラーを照射する特定のレーザビーム径を出射するレーザヘッドを含むレーザ方式の位置計測手段を具備し、前記板状体の着脱時に、前記ステージが前記特定面方向に対して垂直な軸方向に所定量移動するステージ装置において、前記軸方向への移動により前記レーザービームが前記位置計測ミラーから外れないように、この移動に応じて前記ビーム径を調整する機構とを有することを特徴とするステージ装置。
IPC (4)：
H01L 21/027
, B23Q 17/22
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 515 G
, B23Q 17/22 B
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 515 F
, H01L 21/30 516 B
