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J-GLOBAL ID：200903007704058802

膜厚測定方法およびその方法を用いた膜厚センサ

Inventor： 江川 弘一 ,  椿阪 正純
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 鈴木 由充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000273842
Publication number (International publication number)：2002081916
Application date： Sep. 08, 2000
Publication date： Mar. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 透明基板の基板の厚みにばらつきがあっても、各基板の膜厚を、効率良く、かつ連続的に測定できるようにする。【解決手段】 測定対象の透明基板8についての受光データが入力されると、演算部22は、この基板の膜厚の仮定値を変化させながら、膜厚毎に基板表面および裏面における理論上の反射率を求め、これら理論上の反射率と受光データとを用いて、裏面反射光の受光比率を算出する。さらにこの算出結果から、基板表面からの反射光と裏面反射光とが受光された場合の理論上の反射スペクトルを示すモデルデータを設定し、前記受光データと比較する。膜厚毎の処理が終了すると、演算部22は、受光データとの一致度が最大となるモデルデータに対応する膜厚を、薄膜8aの厚みとして特定する。

Claim (excerpt)：

透明基板の表面に光を照射するとともに前記照射光に対する基板からの反射光を波長単位毎に分光してそれぞれ個別の受光素子に導き、各受光素子からの出力信号より得た受光データを用いて前記基板の表面に形成された薄膜の厚みを測定する方法において、膜厚が所定値であると仮定した場合の基板表面および裏面における理論上の反射率を波長単位毎に求めるステップ、前記理論上の反射率と前記受光データとに基づき、前記透明基板の裏面反射光のうち受光素子に入射した光の比率を算出するステップ、前記基板の表面および裏面における理論上の反射率と前記裏面反射光の受光素子への入射比率とを用いて、各受光素子からの出力信号によって表される反射スペクトルのモデルデータを設定するステップ、前記受光データをモデルデータと比較するステップ、の各ステップを、仮定の膜厚の値を変更しつつ膜厚毎に実行し、各膜厚において得られた受光データとモデルデータとの比較結果に基づき前記薄膜の厚みを特定することを特徴とする膜厚測定方法。

F-Term (27)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC17 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF51 ,  2F065GG07 ,  2F065GG12 ,  2F065GG13 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL03 ,  2F065LL04 ,  2F065LL20 ,  2F065LL21 ,  2F065NN01 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ42