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J-GLOBAL ID：200903007709967150

界面活性剤入りエッチング剤から界面活性剤を除去する方法

Inventor： 西野 公男 ,  橋本 嗣夫
Applicant, Patent owner： 橋本化成株式会社
Agent (1)： 尾関 弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994192900
Publication number (International publication number)：1996033801
Application date： Jul. 25, 1994
Publication date： Feb. 06, 1996
Summary：

【要約】【目的】従来全く知られていない界面活性剤を含有するバッファードフッ酸から、界面活性剤を除去する方法を新たに開発すること。【構成】界面活性剤を含有して成るエッチング剤を、イオン交換樹脂、又は多孔性合成樹脂から成る合成吸着剤に、通液させること。

Claim (excerpt)：

界面活性剤を含有して成るエッチング剤を、イオン交換樹脂、又は多孔性合成樹脂から成る合成吸着剤に、通液させることを特徴とする界面活性剤入りエッチング剤から界面活性剤を除去する方法。

IPC (4)：

B01D 15/04 ,  B01D 15/00 ,  B01J 20/26 ,  H01L 21/308