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J-GLOBAL ID：200903007715389088

密閉構造の露光装置

Inventor： 杉本 信夫
Applicant, Patent owner： キヤノン販売株式会社 ,  キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996329184
Publication number (International publication number)：1998154655
Application date： Nov. 25, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 露光装置内に外部の有害な成分を含む気体の侵入を防止でき、光学系に曇りや照度ムラが発生しないようにする。【解決手段】 密閉構造の筐体1により構成されたチャンバー1a内に露光ユニット4が配設されている。フィルタ2で仕切られた天井空間部2aには、図示しない温調手段を備えた気体補充機7の吐出側が連通されており、該気体補充機7により、図示しない気体供給源から供給ダクト8を介して供給される所定の圧力に加圧された酸化作用を持たない気体を所定の温度に温調して天井空間部2a内へ供給し、筐体内の気圧を外部の気圧よりも高い気圧に維持する。また、筐体1の側壁に、原版用ロードロック室15および基板用ロードロック室11を配設することにより、レチクル等の原版および/またはウエハ等の基板を出し入れする際に、筐体内の気圧が変動しないように構成されている。

Claim (excerpt)：

密閉構造の筐体と、前記筐体内に酸化作用を持たない気体を供給して外部の気圧よりも高い気圧に維持するための気体供給手段を備え、前記筐体内には基板に微細パターンを露光するための露光ユニットを配設したことを特徴とする密閉構造の露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02

FI (6)：

H01L 21/30 502 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/30 502 H ,  H01L 21/30 516 F ,  H01L 21/30 516 E