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J-GLOBAL ID：200903007741689448

平行板電極プラズマリアクタ

Inventor： ケネス コリンズ ,  マイケル ライス ,  ジョン トロウ ,  ダグラス ブクバーガー ,  エリック アスカリナム ,  ジョシュア ツイ ,  デイヴィッド グローシェル ,  レイモンド ハング
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997309698
Publication number (International publication number)：1998189296
Application date： Oct. 24, 1997
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 オーバーヘッド平面誘導コイルアンテナを有する誘導結合プラズマリアクタの利点と、プラズマリアクタに単独リアクタで容量結合されている平行板電極の利点とを合わせる。【解決手段】 半球あるいはドームのような3次元の形態のオーバーヘッドの天井を有するチャンバを備える、ウェーハのような半導体ワークピースの加工のためのプラズマリアクタが開示されている。リアクタは、アンテナの誘導磁場のウィンドウとまた同時に、地絡させることができるか、RF電力掛けるか電気的に浮揚させることができる、電極としての役目を果たすために、更に天井と共形あるいは非共形とすることができる天井の上の誘導アンテナを備える。リアクタは、ウェーハの表面を横断して加工の均一性のために最適な分布に調整されるウェーハの表面を横断してプラズマイオンの密度を横方向の分布を行うことができる種々の特徴を備える。

Claim (excerpt)：

プラズマイオン密度の半径方向分布をワークピースの表面全面にわたって制御するプラズマリアクタであって:半導体ワークピース及びプロセスガスを収容するリアクタチャンバであって、該チャンバが、該チャンバの内部に面している3次元の形態の内面を有するオーバーヘッド半導体天井を備える、前記リアクタチャンバと、該天井の上方に配置される誘導アンテナであって、該誘導アンテナが、それぞれ個別に制御可能な放射方向内側部分と放射方向外側部分とを備える、前記誘導アンテナと、前記放射方向内側アンテナ部分と前記放射方向外側アンテナ部分とのそれぞれ一方に接続される、複数の独立したRF電源とを備えるリアクタ。

IPC (6)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (6)：

H05H 1/46 L ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 B