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J-GLOBAL ID：200903007745913369

光学系

Inventor： 今村 文美
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995299718
Publication number (International publication number)：1997146007
Application date： Nov. 17, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 光軸上の複数の点を同時に重ねて観察することができ、露光装置の位置合わせ用光学顕微鏡に適用した場合には、マスクと基板、既存のパターンとマスク、マスクとマスクなど離れた複数の素子を同時に重ねて観察することができ、したがって容易に位置合わせを行うことができるよう適切に構成した光学系を提供することを目的とするものである。【解決手段】 回折光学素子を含まない照明光学系7と、回折型レンズ1、正パワーを有する少なくとも一つの屈折レンズ素子、および負パワーを有する少なくとも一つの屈折レンズ素子を含む屈折レンズ系4からなる観察光学系とを有する光学系であって、回折型レンズ1を、これにより生成される強度が最も強い回折次数の回折光の強度に対して、70%以上の強度を有する別の回折次数の回折光を生成するよう構成する。

Claim (excerpt)：

回折光学素子を含まない照明光学系と、回折型レンズ、正パワーを有する少なくとも一つの屈折レンズ素子、および負パワーを有する少なくとも一つの屈折レンズ素子を含む屈折レンズ系からなる観察光学系とを有する光学系であって、前記回折型レンズを、該回折型レンズで生成される強度が最も強い回折次数の回折光の強度に対して、70%以上の強度を有する別の回折次数の回折光を生成するよう構成したことを特徴とする光学系。

IPC (4)：

G02B 21/06 ,  G02B 5/18 ,  G02B 21/02 ,  G02B 27/42

FI (4)：

G02B 21/06 ,  G02B 5/18 ,  G02B 21/02 Z ,  G02B 27/42