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J-GLOBAL ID：200903007751121881

MgO蒸着材及びその製造方法

Inventor： 上田 尚郎 ,  近江園 仁
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 須田 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999097342
Publication number (International publication number)：2000290062
Application date： Apr. 05, 1999
Publication date： Oct. 17, 2000
Summary：

【要約】【課題】電子ビーム蒸着法で成膜しても、MgO焼結体の供給系のトラブルがなく、スプラッシュを発生させず、安定した均一な成膜ができる。また成膜されたMgO膜の膜特性を向上できる。【解決手段】相対密度が95%以上のMgO焼結体であって、平均結晶粒径が0.3〜100μmの結晶粒子を有するMgOマトリックス中に、アルカリ土類金属酸化物粒子が0.5〜50体積%分散される。このアルカリ土類金属酸化物粒子中のアルカリ土類金属元素としてCa,Sr及びBaからなる群より選ばれた1種又は2種以上の元素を用いることが好ましい。

Claim (excerpt)：

相対密度が95%以上のMgO焼結体であって、平均結晶粒径が0.3〜100μmの結晶粒子を有するMgOマトリックス中に、アルカリ土類金属酸化物粒子が0.5〜50体積%分散されたMgO蒸着材。

IPC (3)：

C04B 35/04 ,  C01F 5/02 ,  C23C 14/24

FI (3)：

C04B 35/04 Z ,  C01F 5/02 ,  C23C 14/24 E

F-Term (29)：

4G030AA05 ,  4G030AA08 ,  4G030AA09 ,  4G030AA10 ,  4G030AA11 ,  4G030AA13 ,  4G030AA14 ,  4G030BA12 ,  4G030CA01 ,  4G030CA02 ,  4G030CA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA27 ,  4G076AA01 ,  4G076AA02 ,  4G076AA10 ,  4G076AA16 ,  4G076AA26 ,  4G076AC07 ,  4G076BA38 ,  4G076BC08 ,  4G076CA11 ,  4G076CA30 ,  4K029BA50 ,  4K029BB07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB07 ,  4K029DB21