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J-GLOBAL ID：200903007805892030

画像検査装置

Inventor： 田中 米太
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991355609
Publication number (International publication number)：1993175302
Application date： Dec. 24, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 画像の検査を迅速に行うことができる画像検査装置を提供することを目的とする。【構成】 検査対象である画像情報を有する被検査物を搬送する搬送手段と、被検査物の画像情報を検出する画像情報検出手段と、搬送手段により搬送された被検査物の位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段よりの信号を受けて被検査物と画像情報検出手段との位置関係を調整する位置調節手段と、基準画像情報を記憶する基準画像情報記憶手段と、画像情報検出手段よりの検出信号を受けて、基準画像情報と比較する画像情報比較手段と、画像情報比較手段よりの信号を受けて、検出した画像情報と基準画像情報との相違が検査基準を超える場合にのみ、当該検出した画像情報を記憶する画像情報記憶手段とを備えてなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

検査対象である画像情報を有する被検査物を搬送する搬送手段と、被検査物の画像情報を検出する画像情報検出手段と、搬送手段により搬送された被検査物の位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段よりの信号を受けて被検査物と画像情報検出手段との位置関係を調整する位置調節手段と、基準画像情報を記憶する基準画像情報記憶手段と、画像情報検出手段よりの検出信号を受けて、基準画像情報と比較する画像情報比較手段と、画像情報比較手段よりの信号を受けて、検出した画像情報と基準画像情報との相違が検査基準を超える場合にのみ、当該検出した画像情報を記憶する画像情報記憶手段とを備えてなることを特徴とする画像検査装置。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/88