Pat

J-GLOBAL ID：200903007807783823

パターンの欠陥検出法および欠陥修復法

Inventor： 脇谷 康一 ,  湯川 典昭
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999210273
Publication number (International publication number)：2001034761
Application date： Jul. 26, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】 画像処理により、回路パターン等の欠陥を欠陥の種類を分類して検出する方法を提供する。【解決手段】 対象パターンに存在し、良品パターンには存在しないパターンを欠陥パターンとして検出し、この欠陥パターンの輪郭線のみを抽出し、対象パターンの輪郭線と重なる欠陥パターンの輪郭線、及び良品パターンの輪郭線と接する欠陥パターンの輪郭線について、それぞれ、連結する一続きの画素を一つのラベルとして分割するラベリング処理を行い、対象パターンの輪郭線と重なる欠陥パターンの輪郭線、及び良品パターンの輪郭線と接する欠陥パターンの輪郭線のいずれもが、2つ以上のラベルに別れている場合、検出された欠陥パターンを「ショート欠陥」と判定する。

Claim (excerpt)：

パターンの検査において、予め良品パターンを登録しておき、光学的入力手段により入力された対象パターンと良品パターンとを比較し、対象パターンに存在し、良品パターンには存在しないパターンを欠陥パターンとして検出し、この欠陥パターンの輪郭線のみを抽出し、対象パターンの輪郭線と重なる欠陥パターンの輪郭線、及び良品パターンの輪郭線と接する欠陥パターンの輪郭線について、それぞれ、連結する一続きの画素を一つのラベルとして分割するラベリング処理を行い、対象パターンの輪郭線と重なる欠陥パターンの輪郭線、及び良品パターンの輪郭線と接する欠陥パターンの輪郭線のいずれもが、2つ以上のラベルに別れている場合、検出された欠陥パターンを「本来離れているべきパターンが結合している欠陥」と判定することを特徴とするパターン欠陥検出法。

IPC (3)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G06F 15/62 405 A ,  G01N 21/956 B ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/70 330 N

F-Term (40)：

2G051AA34 ,  2G051AA65 ,  2G051AA73 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051EA14 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051ED07 ,  2G051ED11 ,  4M106AA01 ,  4M106CA16 ,  4M106CA39 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ38 ,  5B057AA03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA12 ,  5B057DC14 ,  5B057DC16 ,  5B057DC33 ,  5L096BA03 ,  5L096FA06 ,  5L096FA76 ,  5L096GA34 ,  5L096HA07 ,  5L096JA22 ,  9A001BB04 ,  9A001BB05 ,  9A001HH21 ,  9A001HH23 ,  9A001JJ49 ,  9A001KK16 ,  9A001KK37 ,  9A001LL05